xd系(xì)列真(zhēn)空(kōng)泵 是指該泵(bèng)可在(zài)常(cháng)壓下啓動抽(chōu)氣(qì)，并可将(jiāng)抽吸的氣(qì)體直(zhí)接排(pái)放到大氣(qì)中。泵(bèng)腔内(nèi)無油或其他(tā)工作介(jiè)質，壓(yā)力等(děng)于或(huò)接近油封(fēng)真空(kōng)泵的機(jī)械真空(kōng)泵。
截(jié)至 2013年(nián)，真空行業使用(yòng)的機械真(zhēn)空泵大多采用油、水(shuǐ)或其(qí)他聚合物等流體作(zuò)爲泵的工作介質，在泵内具有(yǒu)冷卻、密封(fēng)、潤滑(huá)等多(duō)重功(gōng)能。随着科(kē)學技術的(de)發展和真空應用領域的擴大(dà)，原有的機械真(zhēn)空泵及其(qí)排氣(qì)系統(tǒng)有兩(liǎng)個迫切需要解決的(de)問題(tí)：一是泵的(de)工(gōng)作(zuò)介質倒流(liú)，污染被(bèi)抽容器，而這種回(huí)流在(zài)很多情況下會(huì)影響産(chǎn)品的質(zhì)量和數量，增加(jiā)設備(bèi)的維護(hù)成(chéng)本。其次，真(zhēn)空泵(bèng)中的(de)介(jiè)質由于某些過程中的反(fǎn)應物而嚴重(zhòng)變質，使(shǐ)泵無法(fǎ)正常(cháng)工作(zuò)。
對于普通(tōng)的無油真空(kōng)系(xì)統，雖然可(kě)以使(shǐ)用油(yóu)封真(zhēn)空泵(bèng)和冷阱或吸附(fù)阱等附件來防(fáng)止回流，但(dàn)不能(néng)完全解決問題(tí)，使系(xì)統複(fú)雜。使(shǐ)用合适類型的(de) xd系列(liè)真空泵 可以達(dá)到預期的效果。
xd系列真空(kōng)泵 應(yīng)用廣泛，主(zhǔ)要表現在以(yǐ)下幾個(gè)方面：
1、低壓化學(xué)氣相沉積多晶矽制備工(gōng)藝；
2、半導體(tǐ)蝕刻工(gōng)藝。 xd系列真空泵 在這些生産過程(chéng)中經(jīng)常使(shǐ)用或(huò)産生(shēng)腐(fǔ)蝕(shí)性氣體和磨料顆粒；
3、對于除半(bàn)導體(tǐ)工(gōng)藝外的(de)一些會(huì)産生顆(kē)粒的工藝，預計(jì)顆粒不會混入(rù) xd系列(liè)真空泵 的(de)泵油(yóu)中，預計顆粒會(huì)從泵(bèng)中排(pái)出(chū)，某種類型的(de)幹式機械(xiè)真空泵可以滿(mǎn)足要(yào)求(qiú)；
4、在(zài)化工、醫藥(yào)、食品(pǐn)行業(yè)的蒸餾、幹燥、脫(tuō)氣(qì)、包(bāo)裝等(děng)過程中，應防止(zhǐ)有機溶劑(jì)造成污染，宜(yí)選用 xd系(xì)列真(zhēn)空泵(bèng) ；
5、 xd系列(liè)真空泵 用(yòng)作一般無(wú)油清(qīng)潔真(zhēn)空系(xì)統(tǒng)的(de)前級泵，防止油污。
